适用于需要正面和背面同时探针连接的双面晶圆、双面器件、双面组件的自动探针测试
兼容单面晶圆、单芯片的自动探针测试
可应用于I-V/C-V/P-IV测试、射频/毫米波等测试
卡盘可完全拉出台面,更方便进行产品取放
独有的视觉定位识别功能,引导探针自动进行位置校正和通道切换
AutoXY、AutoZ和SoftTouch力&位精准控制技术,保证产品形变下每颗探针的稳定连接
支持探针卡安装
可扩展全自动上下料功能