成都云绎智创科技有限公司
CHENGDU AATSR TECHNOLOGY CO.,LTD.
SW2000/3000半⾃动晶圆探针台
产品详情

  • 适用于8"（12"）及以下晶圆、MPW晶圆、划片后在蓝膜上芯片、单芯片的自动探针测试

  • 可应用于I-V/C-V、1/f噪声、射频/毫米波、功率、Load-Pull等测试

  • 微孔真空吸附卡盘，可更好地兼容薄晶圆固定

  • 卡盘可完全拉出台面，更方便进行晶圆取放

  • 可选配三同轴屏蔽腔与低漏电卡盘设计，漏电可达到fA级

  • AutoXY和AutoZ功能，支持不平整晶圆或蓝膜上的不等间距芯片的自动测试

  • MPW晶圆Map功能，支持在一个Map中定义完整的MPW晶圆

  • 可集成电动探针座，实现多通道产品测试时通道间的自动切换