晶圆级应用
裸片级应用
元器件级应用
选配件
集成高低温卡盘和温控系统,支持-65℃~300℃环境温度下的晶圆、单片等产品自动化探针测试;
可应用于I-V/C-V、1/f噪声、射频/毫米波、功率、Load-Pull等测试;
支持MPW晶圆测试,可在一个Map中定义完整的MPW晶圆;
多探针自动校准扎针,定位精度高;
采用洁净压缩空气制冷,温控分辨率高,稳定性好。