成都云绎智创科技有限公司
CHENGDU AATSR TECHNOLOGY CO.,LTD.
SWT2000/3000 半⾃动⾼低温晶圆探针台
产品详情

  • 适用于8"（12"）及以下晶圆、MPW晶圆、单芯片的高低温自动探针测试

  • -60°C~+200℃/+300℃高低温系统，为芯片提供稳定的高低温测试环境

  • 三同轴屏蔽腔与低漏电卡盘设计，全温环境漏电可达到pA级

  • 微孔真空吸附卡盘，可更好地兼容薄晶圆固定

  • 卡盘可完全拉出台面，更方便进行晶圆取放

  • 可升级3000V大功率Chuck盘，实现功率器件测试

  • AutoXY和AutoZ功能，支持不平整晶圆测试

  • MPW晶圆Map功能，支持在一个Map中定义完整的MPW晶圆

  • 可集成电动探针座，实现多通道产品测试时通道间的自动切换