硅光自动探针测试
硅光测试分选应用
某客户采用我公司 SW(T)-PH系列半自动硅光探针台，搭载PI六轴耦合平台与NANO传感器，完成双边10°单光纤耦合，耦合重复性≤0.15dBm。
本系统可支持光栅波导、MZM、MRM、EAM、光开关、探测器（PD）等全品类硅光器件的光电一体化高效测试，支持 8吋&12吋 及以下晶圆、单芯片的 O-O、O-E测试；具备 DC~THz 全频段扩频测试能力，支持 -60℃~300℃ 宽温域温控（选配高低温系统）；支持多种耦合方式，集成多目标识别算法与全自动耦合软件，可灵活适配单光纤、FA 光纤阵列及各类光电探针卡，实现沟槽耦合与测试。