探测器PD芯片双面测试
硅光测试分选应用
某客户采用我公司 DSW-PH双面光电探针台，实现对 Si、InP 等材料垂直结构、水平结构的PD晶圆或单芯片的自动测试。设备配备光屏蔽暗室、正面和反面电动针座及光纤耦合系统、探针实时压力反馈系统、对位校正系统、光学校准耦合系统等，支持 I-V、C-V、暗电流、响应度、探测效率等参数的自动测试。