卡盘尺寸：6"/8"/12"
卡盘工艺：镀镍/镀金
温度范围：常温~200℃/300℃
温控分辨率：0.1℃
温度均匀性：±5℃/±0.5%
升温速率：≥10°C/min
加热方式：低压直流加热/PID控制
