晶圆级应用
单片级应用
器件级应用
选配件
重复定位精度:±1μm
全闭环反馈系统分辨率:0.1μm
固定方式：磁吸
可选配探针压力传感器
尺寸：180mm×135mm×170mm/190mm×135mm×170mm
注:需同时搭配PA-CT4电动针座控制器使用
