适用于8"/12"晶圆的常温自动测试
一体化高精度设计，保证设备稳定精准
配置晶圆料仓，兼容多种Cassette类型
精密光学模组，可实现探针自动精确定位
支持多目测试
可对接Docking测试机构
可扩展高低温测试、高压大功率测试应用
